Optris红外传感器在光刻工艺中的晶圆表面非接触式测温应用

将红外温度控制集成到半导体制造中

挑战
准确的温度控制在光学光刻中至关重要，以确保光刻胶的均匀涂抹、固化和图案化。温度变化会导致层厚和*终图案出现缺陷，进而对半导体性能和可靠性产生负面影响。因此，晶圆表面直接实现非接触式、**且均匀的温度测量至关重要。

解决方案
红外传感器通过非接触方式测量晶圆表面温度，为光刻工艺提供精准的实时监控。长波光谱测温技术可直接检测晶圆表面温度分布，即使在受限的制造空间内，也能确保光刻胶均匀涂布、优化固化条件，从而**提升半导体制造质量。

优点

确保光刻胶厚度一致，提升图案精度和半导体可靠性。
很大限度地减少因温度变化引起的缺陷，提高整体产品产率和质量。
允许在狭窄空间内进行准确、非接触式测量，保持制造过程的完整性。
提供即时温度反馈，实现动态控制，高效稳定生产条件。
提升晶圆工艺的均匀性，显著提升吞吐量和运营效率

通过热均匀性控制将线宽变化减少至±0.5 nm量级
实时热漂移补偿使套刻精度提升30%以上
建立温度-固化速率数学模型，优化曝光剂量参数

使用德国Optris CSmicro 红外传感器进行光刻温度控制
为了避免干扰敏感的制造过程，必须以非直接接触的方式测量晶圆的表面温度。保持均匀的温度分布对于实现光刻胶的均匀层厚度至关重要，并且必须直接在物体上测量。为此，使用具有长波光谱范围（8 µm -14 µm）的测温仪。考虑到通常狭窄的空间条件，传感器必须尽可能紧凑，以确保可以正确定位，*好垂直于晶圆表面。
CSmicro 是紧凑的红外传感器系列，具有微小的传感器头，是此应用的理想选择。CSmicro 系列由 德国Optris 制造，因其坚固的设计和高精度而脱颖而出。它具有微型传感器头，可以轻松集成到狭窄空间中，非常适合半导体制造环境。CSmicro 传感器能够测量从 -40 °C 到 1030 °C 的温度，为制造过程的各个阶段提供灵活性。
此外，CSmicro 传感器具有快速响应时间，可确保实时温度监控和控制。这种快速反馈对于保持光刻所需的严格温度公差至关重要。温度信号通过模拟信号传输到 PLC，从而可以无缝集成到现有的过程控制系统中。CSmicro 的光学元件和高质量校准可确保准确可靠的测量，有助于提高半导体制造中的工艺稳定性和产品质量。

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