德国SONOSYS 换能板（安装在兆声波清洗槽）

可定制安装在不锈钢或者塑料工艺水槽内的换能板

不锈钢换能板可安装在塑料或者不锈钢水槽的底部（或者侧壁）。塑料水槽内使用的换能板可做PFA涂层。

标准换能板尺寸可适用于4" / 6" / 8" / 12"基板，也可定制不同尺寸的换能板。根据换能板尺寸，在水槽底部开缺口，然后通过螺栓固定或者焊接将换能板安装在水槽底部。通过这种方式，可以实现无缝和紧凑的集成。

应用：
适用于清洗100 mm, 150 mm, 200 mm and 300 mm的基板和半导体晶圆，可同时清洗单个或者两个料篮。

实例如下：

通过以下实例了解换能板是如何集成到不同类型的水槽内。