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产品资料

RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压

RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压
  • 产品型号：MFES系列
  • 产品展商：RIX瑞顾克斯
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压/MFES系列（多通道​），是专为半导体行业而开发的，通过使用非金属材料或在与液体接触的部件上施加涂层，可以创建一种可*大程度地减少金属离子溶出到液体中的旋转接头。
产品描述

RIX半导体行业用旋转接头 圆晶加压/MFES系列（多通道）

规格：

适用流体：纯水、药液、 空气、真空
*大压力 ：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大转速：250min-1

主要途径与特点：

可以真空·干空气·纯水·研磨液等复数流体同时流动。
通常应用于CMP设备






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