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技术文章

洁净技术标准23
9.5 静电防护及接地

9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产要求设静电防护措施。

9.5.2 洁净室的防静电地面，其性能应符合下列要求：

1地面的面层应具有导电性能，并保持长时间性能稳定。

2地面的表层应采用静电耗散性材料，其表面电阻率应为1.0*10^5~1.0*1.0*10¹²Ω/□或体积电阻率为1.0*10⁴~1.0*10¹¹Ω·㎝。

3 地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0*10⁵~1.0*10⁹Ω。

9.5.3 洁净室的净化空调系统，应当采取防静电接地措施。

9.5.4 洁净室内可能产生产静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》（GB 50058）的有关规定。

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