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洁净技术标准24
9.5.5 防静电接地系统，应分别不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网络，或闭合的接地铜排环。铜排截面不应小于100mm²，防静电接地引线应从等电位的接地网格或闭合铜排环上应就近接地连接。接地引线应使用多股铜，导线截面不应小于1.5 mm²。

防静电接地系统在接入大地前应设置等电位的防静电接地基准板，从基准板上引出接地主干线，其铜导体截面不应小于95 mm²，并应采用绝缘屏蔽电缆。接地主干线应设置在防静电区域内的接地网格或闭合铜排环连接。在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω。

9.5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。直流工作接地的基准电位应取自总等位铜排，接地导线与铜排做好单点连接。主干线截面不应小于95mm²，支干线截面不应小于35mm²。

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