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8 气体管道

8.1 一般规定

8.1.1 气体管道的干管，应敷设在上、下技术夹层道内，当与水、电管线共架时，应设在其上部。与本房间无关的管道不应穿过。

8.1.2 洁净室的气体管道及管架宜设装饰面板。当有可燃气体管道时，应敷设在装饰面板外侧，水平敷设时应在其顶部。

8.1.3 高纯气体管道设计应符合下列要求：

1按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道*小管径不小于ø6х1mm。

2管道系统应尽量短。

3不应出现不易吹除的“盲管”等死角。

4管道系统应设必要的吹除口和取样口。

8.1.4 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。

8.1.5 可燃气体和氧气管道的末端或*高点应设放散管。放散管至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂侵入的措施。可燃气体应符合本规范8.4.2条的要求。

8.1.6 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度要求进行选择和配置。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。

8.1.7 气体过滤器应根据生产工艺对气体洁净度要求进行选择和配置。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

8.1.8 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。

8.1.9 甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定：

1 毗连布置时，宜设在单层厂房靠外墙或多层厂房的*上一层靠外墙处。

2 应有良好的通风。

3 泄压面积和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》（GBJ 16）、《爆炸和火灾危险环境电装置设计规范》（GB 50058）的规定执行。

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