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洁净室制作参数113
8.2 管道材料和阀门

8.2.1 气体管道材料和阀门的选用，应满足生产工艺对气体纯度、露点的要求和使用特点，并按气体性质，经技术经济比较后确定。

8.2.2 高纯气体管道和阀门应根据生产工艺要求，按下列规定选用：

1气体纯度大于或等于99.999%，露点低于－76℃同，应采用内壁电话抛光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不锈钢管（316L）或内壁电抛光的0Cr18Ni9不锈钢管（304）。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。

2气体纯度大于或等于99.99%，露点低于－60℃，应采用内壁抛光的0Cr18Ni19不锈钢管（304）。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其它气体管道宜采用球阀。

8.2.3 干燥压缩空气露点低于－70℃,应采用内壁抛光的0Cr18Ni19不锈钢管（304）；露点低于－40℃，宜采用0Cr18Ni19不锈钢管（304）或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

8.2.4 阀门材质与相连接管材质相适应。

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