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- 产品名称：精密匀胶机
- 产品型号：SC200-SE
- 产品展商：Best Tools
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简单介绍
SmartCoater®精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
产品描述
不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中**的*大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定��极高的可重复性。
特性优点：
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*新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
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7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
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Telon ®/Polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
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标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
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采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
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机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
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排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
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透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
主要性能指标：
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主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
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旋涂程序：*多存100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒
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转动速度：0-5,000rpm(可选更高速)
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旋涂加速度：0-50,000rpm/Sec（空载）
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马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
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转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
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工艺时间设定： 0-3,000 Sec/Step，时间设置精度：0.1sec
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支持Wafer尺寸1cm-300mm
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旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
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设备尺寸 47cm W × 60cm D × 30cm H
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