EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步���控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。
◆ 结构紧凑
EZ4外型尺寸为：210(W)*250(D)*200(H)，特别适合放于手套箱内操作。*大可旋涂4寸圆晶的底物。
◆ 简单易用
文本显示屏，界面简单易用，清晰的功能按键，方便灵活操作。
◆ 程控操作
可提供单步或多步编程旋涂工艺运行，*多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。
◆ 性能稳定
工业级直流马达，单片机控制，转轴旋转稳定，重复性好。
◆ 设计新颖
全铝合金外壳，阳极氧化铝耐腐蚀机身。全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔，PC耐腐蚀透明盖。
产品参数说明：
●PP耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE耐腐蚀真空吸盘
●阳极氧化铝耐腐蚀机身，美观耐用
●耐溶剂性PC透明盖子，恒定扭矩定位功能
●文本显示器，按键控制
●75W直流无刷电机，单片机控制
●可处理碎片（小于1cm）至4英寸圆晶底物
●转速可控范围：200-8000RPM，转速分辨率：1RPM
●加速度可控范围：100-10000RPM/S
●可进行多步程序运行，*多编辑运行5步程序
●宽输入电压适用：AC100-230V输入
产品外形尺寸：
外形尺寸：210 (W) * 250 (D) * 204 (H)
产品附件选择：
◆ 标配四只真空载物盘（3/16”,1/2”,1”&2.25”），适于碎片至4寸圆晶的处理
◆ 定制载物盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工
◆ 用于薄膜基片可提供定制微孔真空载物盘
◆ 无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选
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