MKS 1179A质量流量控制器（橡胶密封）
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种场合测量和控制气体的流量，特别是对可重复性要求高的场合。配上合适的压力传感器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1179A是当前常用质量流量计在尺寸、安装以及功能上的直接替代产品。标准的3英寸底座使1179A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。
MKS 1179A质量流量控制器订购资料
例：型号1179A00411CR1BVXX
订购序列号
1179A质量流量控制器
1179A
校准气体
氦气He
001
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
氧气O2
015
其他气体
可选
校准流量Sccm
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000
24C
装配件
4 VCR凸接头
R
4 VCO凸接头
G
0.25英寸管
S
长度适配器W/4VCR配件
L
长度适配器W/ 1/4“配件
W
阀门
常闭
1
连接器
9针D型
A
15针D型
B
15针边缘卡接口
C
单元设备15针D型接口
N
Millpore15针D型接口
T
密封
标配：Viton
V
选配：Neoprene
选配：Buna N
选配：KalreZ
K
固化软件版本
MKS会安装订购时*新软件版本
XX