MKS Tru-Flo质量流量校验器
MKS的Tru-Flo质量流量校验器是一种紧凑型的诊断设备。通过测量在已知温度下流入一个已知容积气盒的气体的压力增长率，就可以测得质量流量。Tru-Flo的设计整合了MKS*先进的流量校验和压力测量技术，它将MKS压力传感器、关闭阀、小容积气盒以及电子控制电路集成在一个紧凑型的壳体中。Tru-Flo可以组装到工艺设备的气体控制面板上，通过RS-232界面接口与设备主计算机进行通信。
MKS Tru-Flo质量流量校验器订购资料
例如：型号GBR3B52CRR1B10
订购序列号
全量程
500sccm
52C
5000sccm
53C
入口装配件
4VCR凸接头
R
出口装配件
阀门位置（空闲状态）
关闭
1
空气入口装配件
0.125英尺管道
A
4mm管道
B
固化软件版本
MKS会安装订购时软件版本
10
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