MKS MF1质量流量控制器
橡胶密封紧凑型数字质量流量控制器
MKS MF1通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、800毫秒。满量程范围从10sccm-20slm。各种模拟和数字（RS485，Ether CAT、Profibus、modbus）通讯接口可选。
例如：型号MF1C01311CRAV0
采购序列号
MF1质量流量控制器
MF1
类型
MFC
C
MFM
M
用于校准的气体
氮气N2
013
氨气NH3
029
六氟化硫SF6
110
其他气体
可选
流量范围，sccm量程
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000(不可使用Kalrez密封)
24C
10slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P）
11L
20slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P）
21L
装配件
4VCR
R
4VCO
G
1/4
S
6mm
DN KF16
D
MKS表面安装
E
通讯接口
模拟，D型9针插座
A
Profibus DP D型9孔插座
P
RS485，D型9针插座
5
USB
U
密封材料
标配：Vition
V
选配：Buna-N
B
选配：Kalrez
K
附加选件
无附加选件
0
特殊选件
初始配置文件
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