P4B MFC新一代数字质量流量控制器
新一代MKS P4B数字质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进，使得半导体和高纯薄膜用户能进一步增加它们设备的产额。通过一个先进的数字算法，使得控制器对上游和下游的压力扰动不敏感，实现了**的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比，它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大地提高了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性。基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
P4B MFC数字质量流量控制器订购资料
例：型号P4B013502C5T0AA
采购序列号
πMFC,多气体,多量程
P4B
用于校准的气体
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
其他气体
流量范围，SCCM满量程
10
101
20
201
50
501
100
102
200
202
500
502
1000
103
2000
203
5000
503
10000
104
20000
204
30000
304
50000
504
装配件
4 VCR
R
C-密封
C
W-密封
H
通讯接口
DviceNet
6
RS485
5
15针D（I/O）
B
9针D（I/O）
A
Modbus/TCP（powered over 15-pin D）
M
阀
常开，Teflon
P
常闭，Teflon
T
预留MKS的未来应用
标��
0
固化软件版本
MKS会安装订货日期的*新固化软件版本
AA
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