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- 产品名称：美国MKS P250A质量流量控制器 苏州湖州常州无锡质量流量控制器 昆山太仓常熟张家港质量流量控制器
- 产品型号：美国MKS P250A质量流量控制器
- 产品展商：万机科仪MKS
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简单介绍
美国MKS P250A质量流量控制器 苏州湖州常州无锡质量流量控制器 昆山太仓常熟张家港质量流量控制器
产品描述
MKS P250A
P250A MFC新一代大流量数字质量流量控制器
新一代MKS P250A大流量数字质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进，使得半导体和高纯薄膜用户能进一步增加它们设备的产额。通过一个先进的数字算法，使得控制器对上游和下游的压力扰动不敏感，实现了**的实时流量控制。与通常基于PD的数字MFC相比，它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大地提高了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性。基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，苁器筋学好“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
P250A MFC数字质量流量控制器订购资料
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例：型号P250A013255T6M0AA
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采购序列号
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大流量MFC,多气体,多量程
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P250A
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用于校准的气体
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氩气Ar
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004
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氢气H2
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007
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氮气N2
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013
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其他气体
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满量程流量范围
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100slm
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105
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200slm
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205
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250slm
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255
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装配件
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8VCR
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T
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通讯接口
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DviceNet
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6
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RS485
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5
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15针D（I/O）
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B
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9针D（I/O）
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A
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Modbus/TCP（powered over
15-pin D）
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M
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阀
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常闭
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M
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预留MKS的未来应用
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标准
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0
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固化软件版本
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MKS会安装订货日期的*新固化软件版本
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AA
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