Transpector XPR3 气体分析系统 质谱仪 英福康检漏仪 分析仪 苏州无锡常州南京合肥英福康气体分析仪 济南大连青岛英福康气体分析仪
通过监测气体压力、检测污染和查找泄漏，优化太阳能电池和 LCD 过程良率
用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于*大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。