英福康INFICON QMG 700 分析质谱仪 气体分析仪 英福康 进口检漏仪 苏州无锡南通英福康质谱仪 湖州南京合肥广州重庆成都贵阳质谱仪 长沙西安质谱仪

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功能

• 质量范围选择为 1-2048 amu
• 超过九个数量级的动态量程
• 极快的测量速度：0.125 ms/amu
• MDPP < 10E-16 mbar

• 涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离

• 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
• 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
• 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
• IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
• 软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面

• QMG 700 分析质谱仪 (AMS) 是适合以下应用的成熟解决方案：

  - 气体排放质谱分析

  - 终点检测

  - 沉积材料监控

  - 二次离子质谱分析

  规格

  类型		QMA 400	QMA 410	QMA 430
  质量范围		1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
  传感器长度		441.5 mm	548 mm	441.5 mm
  杆直径		8 mm	16 mm	8 mm
  杆材料		Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
  法兰		DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
  检测器类型		Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
  *大工作压力 (FC)		1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
  *大工作压力 (EM)		1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
  灵敏度		5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
  *小可检测分压		1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
  分辨率（可调）		0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
  分压比		< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
  *高工作温度 传感器		150 °C	150 °C	150 °C
  *高烘烤温度		400 °C	400 °C	400 °C
  *高工作温度 电子单元		40 °C	40 °C	40 °C
  测量速度		0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
  电源		100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC

  
  

  (1) QMA 400 的可检测质量范围为：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

  QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

  
  

  (2) QMA 410 的可检测质量范围： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

  QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

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