四探针电阻测试仪

四探针电阻测试仪

四探针电阻率测试仪

产品名称：四探针电阻率测试仪

产品型号：GEST-126

产品概述

该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

 仪器主要技术指标：                                                            

一、 测量范围：

电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

方块电阻：0.0001～200000Ω/ (可扩展)

电导率：0.00005～10000 s/cm；

电阻：0.00001～20000Ω.cm；

 二、 电压测量：

1． 量程0.01mV-2000 mV

2．  分辨力：10μV；

3．  输入阻抗＞1000MΩ；

4．  精度：±0.1% ；

5． 显示：触摸屏操作显示

四探针电阻测试仪

操作方式
体积、表面电阻率测定仪是一台能测量极高电阻和非常微弱电流的精密仪器是因为机器内有一个超高性能的静电计放大器，尽管仪器有多种保护措施，这个超高性能的静电放大器在以下这些不正确操作使用中均可能因过大电流冲击、过电压或放电等长久损坏或降低其测量精度与性能。
主要应用范围
材料高阻测试测量如防静电产品（防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等）电阻值的检测；
材料体电阻(率)和表面电阻(率)测量；
电化学和材料测试,以及物理,光学和材料研究;
微弱电流测量如光电效应和器件暗电流测量。    
体积、表面电阻率测定仪是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I，通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算，然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值，即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化，其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流Ｉ的变化而变，所以, 即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大，其测量精度很高。从理论上讲其误差可以做到零。而实际误差可以做到千分之几或万分之几。

四探针电阻测试仪

四探针电阻率测试仪测试范围
7.1 体积电阻率
为测定体积电阻率，试样的形状不限，只要能允许使用第三电极来抵消表面效应引起的误差即可。对于表面泄漏可忽略不计的试样，测量体积电阻时可去掉保护，只要己证明去掉保护对结果的影响可忽 略不计。
在被保护电极与保护电极之间的试样表面上的间隙要有均匀的宽度，并且在表面泄漏不致于引起 测量误差的条件下间隙应尽可能的窄。lmm的间隙通常为切实可行的*小间隙。
图2及图3给出了三电极装置的例子。在测量体积电阻时，电极1是被保护电极，电极2为保护电 极，电极3为不保护电极。被保护电极的直径d1（图2）或长度l1（图3）应至少为试样厚度h的10倍，通 常至少为25mm。不保护电极的直径d4（或长度［4）和保护电极的外直径d3（或保护电极两外边缘之间 的长度［3）应该等于保护电极的内径d2（或保护电极两内边缘之间的长度lz）加上至少2倍的试样厚度。
7.2 表面电阻率
为测定表面电阻率，试样的形状不限，只要允许使用第三电极来抵消体积效应引起的误差即可。推荐使用图2及图3所示的三电极装置。用电极1作为被保护电极，电极3作为保护电极，电极2作为不 保护电极。可直接测量电极1和2之间表面间隙的电阻。这样测得的电阻包括了电极1和2之间的表面电阻和这两个电极间的体积电阻。然而，对于很宽范围的环境条件和材料性能，当电极尺寸合适时， 体积电阻的影响可忽略不计。为此，对于图2和图3所示的装置，电极的间隙宽度g至少应为试样厚度 的2倍，一般说来，1mm为切实可行的*小间隙。被保护电极尺寸d1（或长度l1）应至少为试样厚度h 的10倍，通常至少为25mm。
也可以使用条形电极或具有合适尺寸的其他装置。
注：由于通过试样内层的电流的影响，表面电阻率的计算值与试样和电极的尺寸有很大的关系，因此，为了测定时可进行比较，推荐使用与图2所示的电极装置的尺寸相一致的试样，其中d1= 50 mm, d2 = 60 mm, ds = 80 mm,
GB/T 1410-2006《 固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》
ASTM D257-99《绝缘材料的直流电阻或电导试验方法》
GB/T 10581-2006 《绝缘材料在高温下电阻和电阻率的试验方法》
GB/T 1692-2008 《硫化橡胶 绝缘电阻率的测定》
⒊电阻率和电阻是两个不同的概念。电阻率是反映物质导电性能好坏的属性，电阻是反映物体对电流阻碍作用的属性。

三、 恒流源：

1．  电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

2.    电流误差：±0.5%

3.   各档连续可调

四、 四探针测试电极：

1. 间距：1±0.01mm；
    2.针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
    3. 机械游移率：≤0.3％；
    4.探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
    5. 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

五、数据打印：

可对测试结果进行打印，显示结果为：电压、电流、电阻、电阻率

六、试验模式：

     手动实验：选择恒流源，在设定的恒流源下测试

自动试验：自动扫描合适的量程范围测试

微机测试：连接电脑通过软件进行测试

四探针电阻测试仪

八、标准配置：

1、主机：1台

2、联想电脑：1台

3、四探针测试台：1套

4、四探针探头（电极）：一套

5、测试软件：一套

6、数据线：若干

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