皮拉尼真空计传感器 - 黛尔特（北京）科技有限公司

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	XEN-3880-RW皮拉尼真空计传感器	XEN-3880-RW皮拉尼真空计传感器：MEMS皮拉尼真空测量技术的变革:MEMS Pirani可以在平衡惠斯通电桥中操作；然而，桥接电路中的单个元件与多个温度系数因素有关，这些因素共同导致测量漂移、不稳定性和噪声。因此，惠斯通电桥电路不是用于实现高性能的实用设计，并且所使用的传统电路已经被先进的信号和数据处理所取代。MEMS Pirani真空计技术的展示了一种新的技术，该技术将新颖的MEMS传感器设计与操作MEMS Pirany真空传感器的方法相结合。荷兰XENSOR INTEGRATON开发的技术采用先进的精密数字信号处理技术，消除了传统的皮拉尼-惠斯通电桥电路。与传统的Pirani真空计传感器操作相比，温度补偿和热损失测量转换为校准真空气体压力读数的数字方法已被证明可以提高测量性能。