Pirani皮拉尼真空规背后的故事
——Marcello Pirani：真空测量的英雄
Marcello Pirani 先生在1880年出生于柏林，有意大利血统，在很小的时候就注定要为真空测量技术做出重大贡献。1904年，他完成了数学和物理的学习，然后完成了研究生研究，之后加入了西门子和哈尔斯克（Gluhampenwerk）白炽灯工厂。他主要关注光源，也关注钽灯的制造，钽灯的生产需要比碳丝灯更高的真空度。一个特殊的问题是使用玻璃McLeod测量仪 真空测量。它们在手动操作和对破损特别敏感方面都存在问题；Pirani考虑到了这个问题，因此在1906年发表了题为“直接显示真空计”的论文，该论文后来被称为“Pirani真空计”：自动读数的真空计（真空规）。
电线的电阻随温度的变化而变化。Pirani真空计以三种模式之一运行：恒压、恒流或恒电阻（即温度）。惠斯通电桥���路通常用于Pirani真空计灯丝是四臂电桥中的一个臂的情况。仪表的读数必须针对不同的气体（具有不同的热导率）进行校正或校准。与McLeod量规相比，Pirani量规具有自动的优点。现代仪表的测量范围为100/10到10-4 毫巴，并通过利用对流损失的压力依赖性而扩展到更高的压力。
Pirani真空规|真空计的工作原理图
1、补偿单元 2、供电电源 3、测量测试量设备 4、测量池（皮拉尼测量室） 5、灯丝（铂） 6、施加的真空压力（未知）
皮拉尼进一步从事高温的光学测量工作，然后于1919年加入奥斯拉姆，担任科学技术局局长。在那里，他广泛研究了从钽对气体的吸附到从白炽灯到气体放电灯的转变等主题。在工业界任职期间，他曾在柏林的技术大学和Technishe Hochschule担任过多个职位。从1936年起，皮拉尼在英国从事各种活动，从耐高温材料到细煤尘的利用。1953年，他回到德国，为奥斯拉姆咨询，在他出生的城市去世，享年88岁。
TCD-5880皮拉尼真空规传感器
TCD-5880对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量。这是通过使用加热器电阻器加热膜的中心来实现的。由此产生的中心温度升高通过热电堆来测量。实际温度升高取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这受到环境气体热阻的影响。TCD-5880安装在6引脚TO-5上金属基座上。
TCD-5880皮拉尼真空计传感器技术参数
@环境温度22°C和1 V电源
尺寸：敏感元件尺寸（mm3)：2.50 x 3.33 x 0.3
尺寸：TO-5晶体管基座（mm2)：9Фx 6
针脚长度（mm）：13.5
TO-5重量（g）：0.71
TO-5+带筛网金属帽+过滤器的重量（g）：1.05
输出
在<1 mPa（V/W）的真空中：130
在100 kPa（V/W）的空气中：30
在10 MPa（V/W）的空气中：26
在氦气中，100 kPa（V/W）：7
在氦气中，10 MPa（V/W）：6.9
时间常数
空气中（ms）：9
在真空中（ms）：36
稳定性
短期，1天（ppm）：1
长期，1年（ppm）：100
热阻
膜（kK/W）：100
膜+空气（kK/W）23
Max.加热电压
空气中（V）：2.5
真空（V）1
