SHASHIN KAGAKU写真化学成像膜厚监视器纳加霍里科技（深圳）有限公司

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第9年

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产品名称：SHASHIN KAGAKU写真化学成像膜厚监视器
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产品厂商：SHASHIN KAGAKU写真化学
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简单介绍：

成像膜厚监视器是一种计量工具，可以可视化透明多层膜的膜厚分布。它可以通过使用光谱反射计以 0.1nm 的厚度分辨率可视化薄膜厚度分布。

详情介绍：

成像膜厚监视器是一种计量工具，可以可视化透明多层膜的膜厚分布。
它可以通过使用光谱反射计以 0.1nm 的厚度分辨率可视化薄膜厚度分布。

- 在显微镜视野中测量薄膜厚度/质量，显示 3D 分布
- 良好的厚度分辨率，相当于光谱测定工具。
- 波长可在 450nm 至 750nm 范围内选择，精度为 1nm。
- 通过光谱反射法进行并行处理
**应用程序
1. （1）数百种重复薄膜，如带通干涉滤光片和复合多层薄膜，如沟槽结构
2. （2）使用有效介质近似（EMA）进行亚微米花样密度估计
3. （3）激光退火等局部区域结晶度评估

- 使用 1x 对象测量 6.6x8.8 mm□ 面积。
- 使用 50x obj 测量 0.5um 空间分辨率。

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