半导体材料气体XPS-7

型    号

XPS-7

检测原理

定电位电解式

检测气体对象

半导体材料气体

测量范围

根据规格

分 解 能

全量程的百分之一表示

指示精度

FS±10%以内

报警模式

2段报警方式

报警方式

蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁

应答时间

60秒以内(60%应答)

电    源

5号碱性干电池4节或AC专用变压器

电池使用时间

连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）

外型尺寸

W62×H150×D128mm(突出部分除外)

检测方式

泵吸引式

使用温度范围

0℃～40℃

重    量

约1.3kg

附    件

肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张

选 购 件

AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件

对象气体一览表

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

XDS-7NH

NH3

100ppm

XDS-7GH

GeH4

1ppm

XDS-7HS

H2S

50ppm

XDS-7SH

SiH4

25ppm

XDS-7CL

CL2

5ppm

XDS-7CO

CO

250ppm

XDS-7DC

SiH2CL2

25ppm

XDS-7CF

CLF3

1ppm

XDS-7DS

Si2H6

25ppm

XDS-7AH

AsH3

250ppb

XDS-7HC

HCL

25ppm

XDS-7F2

F2

5ppm

XDS-7PH

PH3

1ppm

XDS-7HF

HF

10ppm

XDS-7OZ

O3

1ppm

XDS-7BH

B2H6

500ppb

XDS-7HB

HBr

10ppm

XDS-7SE

H2Se

250ppb

XDS-7NO

NO

100ppm