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干式真空泵核心工作原理

日期:2026-10-07 06:21
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摘要:干式真空泵核心工作原理
依靠一对 / 多对 ** 精密转子(爪式、罗茨、螺杆)** 高速啮合旋转,腔体留有微米级微小间隙,
  1. 进气→腔体容积变大吸入工艺气体;
  2. 转子转动压缩气体;
  3. 容积变小→气体被压缩从排气口排出;
    全程只靠间隙密封,泵腔内部无任何油。
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