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什么是干式真空泵

日期：2026-10-13 12:41
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摘要：什么是干式真空泵
干式真空泵＝无油干式真空泵（Dry Vacuum Pump）
泵腔内部不使用润滑油密封、不依靠油液做腔体润滑密封，靠机械转子间隙密闭抽气，全程无油、无油气返流，以此获得洁净真空；区别于传统油封旋片泵（用油液密封，容易喷油、油蒸汽污染腔体）。
半导体、镀膜、锂电、精密实验室**就是干泵，荏原 EV‑SA/EV‑X/EV‑M/EST 全系列都属于干式泵。
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什么是干式真空泵
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