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离子研磨仪核心优势

日期:2026-10-13 01:13
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摘要:离子研磨仪核心优势

核心优势(对比机械研磨)

  • ✅ 无机械损伤:无划痕、无变形层、无嵌入杂质,保留原始微观结构(尤其软材料、多层膜、脆材)。
  • ✅ 无化学污染:纯物理加工,无化学试剂残留,适配成分分析。
  • ✅ 适配复杂结构:可做截面(Cross-section)、平面抛光、微区刻蚀;对金属、陶瓷、半导体、聚合物、岩石等均适用。
  • ✅ 原子级平整:表面粗糙度可达纳米级,满足高分辨 SEM/TEM、EBSD 要求。
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