主要参数 平面度 ≤0.05mm/m2 平面粗糙度 ≤0.8μm 固有频率 垂直方向＜3Hz 水平方向＜3Hz 振幅 ≤3μm 仪器成套性 气垫式自动平衡桌腿、静音气泵、自平衡阀、连接杆、气管等 规格 1500×1000×800mm（四支撑） 1800×1200×800mm（四支撑） 2400×1200×800mm（四支撑） 3000×1500×800mm（六支撑）
气垫式阻尼隔振系统，有效消除振动 地面、平台等结合处采用多级复合材料进一步减小阻尼 **高导磁不锈钢面板 M6 25×25安装孔方阵靠 表面精密磨制，完全去除粗加工痕迹、表面光滑、精度高 结构紧凑、稳定可调 静音气泵，工作噪声小于65dB，正常储气压强为0.6Mpa,工作时压缩机启动补齐压强为0.2到0.4Mpa USZ-5型采用国产气动元件 USZ-6型采用进口气动元件