MODEL
LSN-1510
LSN-2010
LSN-2515
LSN-3020
LSN-4030
LSN-5030
（X/Y/Z轴）量测行程（mm）
150*100*100
200*100*175
250*150*175
300*200*175
400*300*175
500*300*175
外形尺寸
540x560x850
760x600x900
970x670x940
970x770x940
机台底座
高精度花岗石底座及立柱
照明系统
表面光源与透射光源均用LED，亮度可调
CCD
高解析度日本索尼彩色CCD
X,Y轴量测精度
（3+L/150）um
放大倍率
Step Zoom光学放大率：0.7－－4.5X，影像放大率：28－－180X
光学尺解析度
1 um
重复性
2 um
操作方式
手动
电源供给
110V/220V
合适温度，湿度
温度：19°－－24°，湿度：45%－－75%
保修期
一年