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光刻机定位用双频激光干涉仪ZLM800
光刻机定位用双频激光干涉仪ZLM800
由德国耶拿尔测量技术公司生产的ZLM800双频激光干涉仪，以其特有的大测量范围、高分辨率、高测量精度和高速度等优点，在精密和超精密测量领域获得了广泛的应用。它采用外差干涉测量原理，克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题，具有信号噪声小、抗环境干扰能力强、允许光源多通道复用等诸多优点，使得干涉测长技术能真正用于实际生产。例如，精密坐标机床的标定、高精度传感器的标定、半导体工业中的高精度模板的制造和定位、以及构成多坐标精密定位多轴运动系统等。
ZLM800双频激光干涉仪是先进制造技术尤其是高精度步进扫描投影光刻机工件台定位不可缺少的测量工具，是其它测量工具所无法替代的。另外，该双频激光干涉仪可通过与不同的附件组合，进行长度、速度、角度、平面度、直线度和垂直度等的测量。
ZLM800高精度快速双频激光干涉仪，在光刻机的应用上主要用于精密工件台的位置测量系统上，特别是用在步进扫描投影光刻机的工件台的精密定位系统，其作用是：（1）参与确定工件台的初始坐标；（2）确定工件台的瞬时坐标；（3）为工件台的定位伺服系统提供速度和位置信息，完成硅片与掩模台的对准等。
下图为德国某光刻机使用公司采购的一台ZLM800双频激光干涉仪的光路图。
根据行业人士预测，未来几年国内光刻机有可能增加达数百台套。因此光刻机定位用双频激光干涉仪有很大的市场前景。如果贵公司有对光刻机定位的需求，欢迎选购本公司代理的，德国耶拿尔测量技术有限公司生产的ZLM800双频激光干涉仪。
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