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双频激光干涉仪用于微位移的测量
双频激光干涉仪用于微位移的测量
 
由德国耶拿尔公司生产的ZLM800双频激光干涉仪，在各种微位移实验室得到广泛的应用。主要用途是对主动光学拼接镜面技术中微位移器件、装置、设备等进行测试、定标和研制。同时，也可对其他各种场合的微位移进行测量。
目前，中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所就采用德国耶拿尔ZLM800型双频激光干涉仪作为其微位移技术实验室的主要科研设备，用于高精度、高分辨率的应用测量。
以下为ZLM800双频激光干涉仪的两个应用案例。在**个案例中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在**个案例中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个一轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。


 
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