氦气检漏机基本信息

氦气检漏试验机

氦气检漏是气密性检测方法之一。

将检查对象内部减压至真空或用氦气加压后，使用称为“氦气检漏仪”的特殊检查机来检查是否有泄漏及其程度。

氦气检漏仪是使用氦气（He）作为微量气体（检测气体）来检查微小泄漏的存在和大小的检测仪。

氦气检漏仪具有以下特点。

・可以在几秒钟内检测出纳米级间隙的泄漏并**定位泄漏位置。

・泄漏程度可以使用国际单位制（SI单位）定义的“Pa・m3/s”来定量。

・它是一种无损检测装置（假设不存在会导致样品破裂的压力差）

- 兼容对检查对象抽真空和充氦气进行检测的两种方法。

氦检漏仪一般被称为“He检漏仪”、“探测器”或“氦检漏仪”，应用于半导体工业、电子器件、精密仪器、汽车、氢能源、食品工业等，其中这是一种采用真空技术的气体分析仪，适用于需要对气体管道、零件和气体管道进行泄漏测试的场所。在众多泄漏测试方法中，该方法可以检查使用浸没法或空气泄漏测试无法检测到的小泄漏，因此可以满足各种领域的泄漏测试需求。

为了尽可能简单地解释该机器的机制，它可以被描述为“配备涡轮分子泵的气体分析仪，专门用于检测极少量的氦气。”

概述典型的检查方法“真空法（真空喷射法）”，首先，使用配备检漏仪的真空泵或单独的真空泵对密闭设备、容器和管道的内部进行检查。首先将压力降低至所需压力。

当压力降至检漏仪内置真空计读数确定的指定压力以下（**压力从 500 Pa 到 2,500 Pa 不等，具体取决于制造商和型号）时，分隔分析管的阀门打开，样品与分析管连接并切换至检查/测量模式。接下来，从外部（大气侧）向测试样品喷射氦气。此时，如果由于焊缝裂纹、密封面有划痕、异物卡入而发生泄漏，则由喷雾扩散到泄漏点周围的部分氦气将通过真空侧被吸入真空侧。 ，通过管道流入检漏仪的分析管，检测氦成分（实际上是根据氦离子量的电流值）。

启动时，氦检漏仪的分析管通过涡轮分子泵不断降低至-3Pa以下的高真空状态。除氦气外，氮气、氧气、湿气等多种气体成分由于真空压差而从样品泄漏点进入，可按质量数过滤掉介入气体。换言之，可以仅检测质量数为4的氦的离子电流值。

检测到的微小离子电流值的大小被转换成表示泄漏量的10位“泄漏率”并显示在显示面板上。当氦成分残留在分析管内或底压较高的环境中时，会出现泄漏率较高的情况，涡轮分子泵会促进抽真空，氦气会从分析管中逸出，或者样品表面会干燥，导致泄漏率升高。会发生脱气，随着泄漏率降低，泄漏率也降低（变小）。

显示面板上看到的氦气反应时间根据泄漏源和检漏仪之间的管道距离以及是否是针孔泄漏或沿着螺纹传播或穿过树脂的慢反应泄漏而变化，但在在针孔泄漏的情况下，随着喷射的氦气从分析管中排出，泄漏率的变化*早小于1秒，从几秒到几十秒不等。因此，可以对氦气喷射区域进行高精度、高响应的定量泄漏检查。

夹住10微米异物时的泄漏情况

这是在测量条件有限的情况下的示例，但我们的氦检漏仪“ASM310”显示的值“1.0×10E-12Pa·m3/s”为1立方米/秒。这意味着泄漏量为使得空间内的压力增加0.Pa。如果你真的喷氦气，完全没有反应，就说明在这个泄漏率水平上不存在泄漏。

“Pa·m3/s（Pascal Leubey Parsec）”也是泄漏量的SI单位，是流量单位，可以换算为“cc/min”或“ccm”。如果将上述“1.0×10E-12Pa·m3/s”设定为“cc/min”，则流量相当于“5.92的-10 cc/min次方”。很难理解，那么换句话来说，每分钟泄漏的氦气流量是0. cc。即使这个数字换算成一年，也意味着只有0.00031cc/年发生泄漏，可以判断为正常判断不存在泄漏。

对于氦气检漏仪显示的泄漏率，如果数值稳定，即使喷射氦气也没有反应，则为“无泄漏”或“泄漏量 〇.〇×10 -〇〇Pa·m3/s”使用“小于或等于”的表达方式可以判断测试通过。

顺便说一句，测试所用的氦气是单原子分子，质量为4，分子直径约为0.21纳米。由于它是分子直径小于约0.27 nm的氢（H2）的气体，由两个分子组成，因此具有如果存在压力差的微小间隙则很容易进入的特性。我是。如果在近年开发的氢能相关设备和零部件的制造过程中检查时发现氦气不泄漏，那么可以说氢气也不会泄漏。

此外，地球表面空气中漂浮的氦气浓度小至5.2 ppm（0.00052%），且浓度稳定，因此针对该小碱基检测出阳性的氦气反应被认为源自泄漏。既然可以确定，就可以说可以检查极小的泄漏。此外，根据检查机的型号和设置，有些型号可以根据大气中的 5.2 ppm 校准灵敏度，从而无需使用校准漏气管来校准灵敏度，即可检查灵敏度的可靠性。 

除了这些特性之外，氦气还有一个特性，即使在空间中大量喷射，它也会向上扩散到天空中，即使人吸入，也不会对人体产生任何负面影响。是除缺氧以外的其他物质，为惰性气体，不易与检查对象或使用材料发生化学反应，分子稳定，不分解，容易获得气体，与使用氢气进行泄漏测试相比，它不太符合法律和**标准。在地球上所有气体中，氢气是*适合用于泄漏测试的气体，因为它的法规和限制较少。

优点和缺点