具体型号
VMH600
(X/Y/Z轴)量测行程(mm)
600*500*200
全机尺寸(mm)
1160*800*1650
机台底座和立柱材料
高精度花岗石
CCD
41万像素3DFAMILY-E彩色
X,Y轴量测精度
（3+L/200）μm
放大倍率
Step Zoom光学放大率：0.7-4.5X，影像放大率：28-180X
光学尺解析度
1 μm
重复性
2 μm
操作方式
手动
电源供给
110/220V
合适温度，湿度
温度：19°-24°，湿度：45%-75%