美国KLA科磊Alpha-Step®D-500 探针式轮廓仪
美国KLA科磊Alpha-Step® D-500探针式轮廓仪是一款高精度的表面形貌测量设备，专为台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量而设计。以下是对该产品的详细简介：
Alpha-Step® D-500采用**的光学杠杆传感器技术，提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。这种技术使得设备能够**测量从几纳米到1200微米的台阶高度，同时支持低触力测量，触力范围可调节至0.03至15毫克，适用于多种软硬材料的**测量。
台阶高度测量：能够量化蚀刻、溅射、沉积、旋涂、CMP等工艺中沉积或去除的材料量。
粗糙度与波纹度测量：通过软件过滤功能，将测量值分离为粗糙度和波纹度部分，并计算均方根（RMS）粗糙度等参数。
翘曲度与形状测量：可测量表面的2D形状或翘曲，包括晶圆翘曲和透镜等结构的高度和曲率半径。
应力测量：通过测量薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，并应用Stoney方程计算应力。
高分辨率：垂直分辨率可达亚埃级别，确保测量数据的**性。
大测量范围：支持从纳米级到毫米级的台阶高度测量。
用户友好：配备500万像素高分辨率彩色摄像头和用户友好的软件界面，便于操作和数据解析。
紧凑设计：体积小巧，适合实验室和生产线等空间有限的环境。
Alpha-Step® D-500广泛应用于半导体、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗设备等多个行业，是高校、研究机构和实验室进行表面形貌分析的重要工具。