以前的型号使用滤光片式波长选择方法,但新产品采用了我们经过验证的光谱仪,可以选择任何波长。 膜厚变化信号由电压输出变为与计算机兼容的数字输出,控制机构由手动操作变为利用计算机指令控制。此外,由于可以通过I/F直接连接到计算机来控制膜厚计,因此不需要像其他制造商那样使用控制器,使其成为极其紧凑的系统。
连接到气相沉积设备以监测薄膜厚度。 可以如右图所示进行安装。
反思性监视
透明监控 (弯曲泛光灯)
透明监控 (直连泛光灯)
接收者
泛光灯
电源箱
凸起法兰 *包含在反光镜盒中
反光镜盒
透明镜盒