日本FLUORO福乐晶圆搬运工具
处理晶圆时必须格外小心。 搬运过程中产生的划痕和污垢是需要注意的因素之一。 介绍日本FLUORO福乐手动镊子的特点。
整个过程中采用了新的机制,以实现平稳可靠的操作。
由于锁定时夹紧力恒定,因此可以稳定操作,没有个体差异,大大提高了工作效率。(杠杆锁型)
通过应用杠杆原理,可以用很小的力保持稳定的夹紧力。 您将不再像手动镊子那样需要按住。 您可以轻松制作稳定的剪辑,因此您可以充满信心地工作并提高效率。 由于夹持表面上只有两个接触点,因此可以大程度地减少晶圆的污染。 PEEK材料具有优异的韧性、耐热性、耐化学性。 晶圆表面只有两个接触点,大限度地减少了晶圆的污染。 与传统的金属镊子不同,无需担心损坏晶圆。 独特的晶圆挡块可防止与晶圆发生不必要的接触。 主体不含粘合剂或金属,因此可以随时清洁并保持清洁。 可以根据应用选择材料。 手动镊子所用材料清单 材料 材质特性 碳纳米管聚醚醚酮 PEEK树脂中混入纳米碳,具有优异的导电性、耐化学性、耐热性、机械强度。 然而,它溶于浓硫酸。 窥视 聚醚醚酮具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度。 然而,它溶于浓硫酸。 聚苯硫醚Fortron 与 PEEK 不同,它不溶于浓硫酸。 耐化学性、耐热性、机械强度均比PEEK差。