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产品资料

IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列

IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列
  • 产品型号：CFD-1T-B
  • 产品展商：IWAKI易威奇
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列 化学补给泵，用于补充半导体工艺中的强酸和强碱清洗。
产品描述

IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列 化学补给泵        

产品特点：

●可控制圆晶清洗浓度的控制

●优异的耐腐蚀性

所有接液部件均由氟树脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，与强酸、强碱、过氧化氢等化学溶液兼容


IWAKI易威奇/半导体气动泵CFD系列 化学补给泵       产品参数：

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供气压力 0.15～0.3MPa
*大耗气量 2.5NL/分钟 5.4NL/分钟
*大行程数 30次/分钟
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液体温度范围 20~60℃

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