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iXH系列半导体真空泵
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产品简单介绍
Connection Kit, PUMP ONLY LV PK1干式真空泵电源连接器
D37485836
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的,为严苛制程能力 树立了新标准,它在上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程性实现低成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。
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