日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块
堀场DZ-100是HORIBA超薄型质量流量模块，产品定位是“10mm 超薄宽度 + 不牺牲性能”，为半导体设备气箱的高密度集成设计。 基础参数 模块宽度：10 mm。 重量：230 g。 响应时间：≤0.4 秒。 测量原理：压差层流式（非热丝传感），受温度和供气压力波动影响较小 控制方式：压电阀闭环驱动，支持多气体、多量程在线切换。 通信与供电：EtherCAT 总线通讯；电源组件外置，一台电源盒多可驱动 4 台模块。 重复性：±0.3% S.P.（主力量程型）。 工作温度：15～45°C。 主要特点 超高密度集成：10mm 的宽度意味着在有限的“气箱”空间内可以塞进更多的流量通道，直接缩小设备体积，并让气箱更靠近反应腔，缩短气体置换路径。 性能无损的薄型化：继承了 D500 的 CRITERION™ 技术，虽然尺寸大幅缩小，但仍保持高精度和宽量程控制能力，没有因为变小而牺牲性能。