日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器
堀场 D700T 是 HORIBA旗下 CRITERION 系列的**压力式质量流量模块，专为半导体制造的苛刻工艺设计，产品定位是“全流量域快响应+强抗压波动”。 基础参数 响应速度：≤ 100 毫秒（设定到设定、上升与下降），全流量域均达到此水准。 流量精度：标准 ±0.8% S.P.，可选高精度规格 ±0.45% S.P.。 重复性：±0.15% S.P.。 工作温度：15～60°C（较宽的环境温度范围）。 供电与压力：24 VDC 供电，过程压力范围约 2.4～3.5 bar。 技术特点 双阀结构（Twin Valve）：CRITERION 系列采用两根阀门串联的设计。主阀负责精细调节，下游阀负责高速切断，这是实现全流量域 100ms 以内快速下降的关键。 双向抗压不敏感：D700T 进一步优化到对下游（向腔体供气侧）的微小压力波动也能有效抑制，流量控制更稳定。 Multi-Diagnosis 自诊断：无需从设备上拆下模块，即可自检流量精度、压力传感器漂移、阀座泄漏等老化问题，提前预警，避免产线非计划停机。