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产品简单介绍
无尘洁净氮气柜
无尘洁净氮气柜适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境,只控制湿度及氧含量浓度这块,并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。荣任达百级洁净氮气柜,内外SUS304双镜面不锈钢材质,过滤等级CLASS 100/10.
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