高真空释气烘箱

▲产品介绍：

高真空释气烘箱，也被称为真空释气箱或烘烤除气装置设备，是一种专门用来在真空或加热环境下，把材料内部或表面吸附的气体、水分及挥发性有机物强制“挤”出来的设备 。它和普通干燥箱*大的不同在于，它更侧重于“除气”而非单纯“烘干”，常用于对纯度和性能要求极高的精密制造场景作业。

▲功能特点：

1.控制界面：采用日本三菱 PLC+7寸进口触摸屏控制系统，程式化运行（兼容手动操作），温度系统，高真空除气系统，冷却系统，充氮系统等。
2.控制模块：控制模块是本系统的核心模块，它的作用是控制各个模块的动作和时序，完成整个工艺过程。
3.内胆材质：整个系统采用**医用级316L不锈钢材料制作，无发尘材料，适用百级光刻间净化环境。
4.密封装置：密封条为高温硅胶制作，可耐温不变形，门与箱体连接密封，加强密封效果。
5.加热装置：加热器采用SUS316#被覆无尘化SHEATHED HEATER寿命长且无污染，依据使用温度调整控制,节约能源。
6.加热方式：采用无触点SCR固态继电器控制每段温区发热管输出功率大小，接近恒定温度时，加热电流变小，使其恒定温度。
7.底部结构：万向移动福马一体承重脚轮，固定好位置可落下支撑脚，方便移动及固定
8.温度传感器 采用进口PT100铂金电阻，精度±0.5%，反应灵敏，耐高温。
9.真空系统：前级采用进口品牌德国莱宝真空泵+德国普发分子泵，由多个叶轮组成,叶轮之间的距离非常小,可以达到纳米级别。运行中分别中高真空的运行，启动速度快，具有较高抽速和极限真空度。
10.充氮系统：作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气及挥发性气体，PLC自动控制/手动控制，补气电磁阀为日本SMC品牌，用于补气系统的通断，压力采用PLC模拟量调控微漏阀，实现精准控制阀门。。
11.保护系统：相序保护，漏电保护，过载保护，控制线路，超温保护，压力过载保护，急停开关，工作状态指示灯。

▲工作原理：

*基于高真空设计经验，抽真空系统分为前级泵和分子泵组合，抽真空系统均可独立控制。启动真空程序后，泵组联动工作，先打开预抽阀启动前级泵将降至真空数值50Pa,再打开高真空泵组的联动主阀，快速抽真空至高真空数值，整个过程PLC控制一键启动运行，智能化程度高，无需人为干预。

▲冷却系统

用于真空系统运行中分子泵的降温辅助需要，出厂配置一体式冷水机1套，避免长期负载触发过热，全方位保护长时间运行稳定。

▲进气过滤：

加装定制过滤器，三级过滤精度0.01pm，加装水分吸附罐(可重复烘烤除水再利用)、三级油水过滤，实现对VOC中碳氢化合物的过滤，浓度控制≤15ppm。

▲技术参数：

温度范围：RT+20℃~280℃

极限真空：10^-5pa（0.00001Pa）

保压真空：10^-4pa（0.0001Pa）