精密平台： CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金，经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理，可保证长期使用仍保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠，既保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达，全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行程专业为8吋晶元设计。 型号表示： CAX15R220-Y220P10-S1-M （1）CAX15：CAX平台底座宽度150mm； （2）R220：X轴有效行程220mm； （3）Y220：Y轴有效行程220mm； （4）10：滚珠丝杆的导程分为5mm和10mm； （5）S1：SX671型极限开关，S2：SX674型极限开关； （6）M：AC400W伺服马达；可客制化。
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