Hamamatsu滨松光子学膜厚测量系统C12562-04

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产品名称：Hamamatsu滨松光子学膜厚测量系统C12562-04
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产品展商：日本Hamamatsu滨松光子学

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简单介绍

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C12562 是一款紧凑、节省空间的非接触式薄膜膜厚测量系统，可根据需要轻松安装在设备中。在半导体行业，因为硅穿孔技术的流行，硅厚度的测量至关重要；在薄膜生产行业，粘合层薄膜越来越薄，以满足产品规格。因此，这些行业现在需要更高的厚度测量精度，测量范围从 1 μm 到 300 μm。C12562 允许在 500 nm 至 300 μm 的宽厚度范围内进行**测量，包括薄膜涂层和薄膜基板厚度以及总厚度。C12562 还提供高达 100 Hz 的快速测量，是高速生产线测量的理想选择。

产品描述

型号	C12562-04
可测量的薄膜厚度范围（玻璃）	500 nm 至 300 μm^*1
测量重现性（玻璃）	0.02 nm^{2 3}
测量精度（玻璃）	±0.4%^{3 4}
光源	卤素光源
光斑尺寸	约 φ1 mm^*3
工作距离	10 mm^*3
可测量层数	*多 10 层
分析	FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
测量时间	3 ms/point^*5
光纤连接器形状	FC
外部控制功能	RS-232C，以太网
电源	AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗	约 80 VA

滨松光子学株式会社总部位于静冈县滨松市，是一家主要产品包括光电倍增管、光学半导体器件以及图像处理和测量设备的制造商。静冈县内有七个生产基地，其中包括位于滨松市的总工厂。
1948年成立时名为东海电子研究所，1953年成立滨松电视株式会社，开始生产将光转换为电信号并检测电信号的光电管。1983年，公司名称变更为滨松光子学株式会社，并于1998年3月在东京证券交易所**部上市，至今仍在那里。
公司业务大致分为电子管业务、固态业务、系统业务、激光业务四大类。所有这些公司主要开发、制造和销售“发光”、“捕获光”和“测量光”的产品。具体产品包括光电二极管等光学传感器、LED 等光源以及配备 CMOS 和 CCD 的高性能相机。特别是在光传感器领域，光电倍增管自公司成立以来一直是代表产品，并为获得诺贝尔物理学奖做出了贡献，多年来不断发展，目前在全球市场占有率高达约90%。此外，光半导体器件、测量设备等种类繁多的产品被广泛应用于医学、工业、分析、测量、学术界等领域，被世界各地的制造商和研究机构所使用，正在全球扩张，海外市场约占其销售额的70%。

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