英福康晶振片

一、INFICON晶振片的优点

• 一概是世界上上等的晶体
• 使用方便的新型晶体包装
• 永远可靠的货源
• 完善的产品线

二﹑如何选用合适的晶振片？

 镀膜科技日新月异，对于镀膜工程师来说，如何根据不同的镀膜工艺选择上佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考：

1）镀低应力膜料时，选择镀金晶振片

挺常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu，这些膜层几乎没有应力，在室温下镀膜即可。膜层较软，易划伤，但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜，经验证明，可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

2）使用镀银或银铝合金镀高应力膜层

Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力，膜层容易从晶体基片上剥落或裂开，以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时，这些情况可以容忍，但在一些情况下，会对蒸发源的功率控制有不佳作用。

3）使用银铝合金晶振片镀介质光学膜

MgF₂、SiO₂、Al₂O₃、TiO₂膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性，被广泛用于光学镀膜，但这些膜料也是挺难监控的，只有基底温度大于200度时，这些膜层才会与基底有非常良好的结合力，所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上，在膜层凝结过程会产生巨大的应力，容易使晶振片在1000埃以内就回失效。

这时候，选用合金晶振片将是挺好的选择，将大大减少调频机会。实验室显示，使用合金晶振片监视氟化镁，有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50度，晶振片的寿命更可以再延长一倍。