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Brooks 可提供一系列在电离规、热损失传感器和热电偶上工作的 Granville-Phillips® 机架式电子系统。可以将产品特性配置为满足特定的工艺需求。 各种通信协议(包括 RS-232、RS-485 和 DeviceNet™)都可用于加快和简化到控制方案的集成。此外,许多控制器都可提供本地显示以及可供选择的设定点,而这些设定点可进一步简化控制系统集成。
Granville-Phillips 316 低真空规控制器可操作 Convectron®、热电偶和电容压力计规管并读取压力(从 990 托到 1 x 10-4 托)。
更多特性
· 紧凑的半机架设计
· 三个规管可进行同步数字显示
· 可手动操作多达六个工艺设定控制点
· 可用的 RS-232 或 IEEE 接口
· 每个规管均配有模拟量输出
GP 316控制器订购资料(例:型号316505-A1A-T)
用于Convectron真空规通道
采购序列号
半机架
316501
19英寸机架左边安装
316502
19英寸机架中心安装
316503
描述
316505
316506
316507
选项
无
0
RS-232
A
RS485
B
IEEE-488
C
真空规选项
没有
双Convectron规
1
Convectron/电容
2
双热电偶
3
设定点选项
2个设定点继电器
6个设定点继电器,每通道2个
测量单位
Torr
T
Mbar
M
Pa
P
电源选项
美国115V/日本110VAC
美国240V
欧洲通用220V
英国240VAC
4