835 VQM DPS Granville-Phillips 835VQM（真空质量监控仪）分压泵系统 苏州无锡上海835 VQM DPS 重庆835VQM
Granville-Phillips 835VQM（真空质量监控仪）分压泵系统
Granville-Phillips的分压泵系统是获奖的高性能真空质量监控仪（VQMTM）的真空压力范围扩展产品。其具有所有VQM的优势特点，包括响应速度快和使用便捷，可用于工艺监测和工艺控制。
835分压泵系统（DPS）提供了许多实时信息，可用来优化PVD、离子注入、镀膜以及其他真空制程，从而提高产能、改善效果并节约资金。
835VQM DPS典型应用包括：
监控反应气体
确定工艺初始状态
检测污染物
控制反应气体注入量
检测泄漏
835VQM DPS产品特点：
工作压力从3Torr到5x10-9Torr
在85毫秒内完成质量数从1到145的气体分压力测量；并可提供1到300质量数范围的测量
可提供所识别的前十个*高比例的气体成分的即时信息包括趋势图
**的氢气和氦气检测（无低质量数成分测量分压超全压现象）
85毫秒内完成1到145质量数全部样本数据的记录；120毫秒内完成1到300质量数全部样本记录
可利用真空系统内已有气体进行单一气体校准
紧凑型结构设计，可灵活安装
835VQM DPS标准系统配置
整个835 DPS系统以下组件
835VQM分压计
390802Micro-lon全压计
带孔板的节流阀
分子泵
粗抽泵带喉管
内部连接电缆线
VQM控制器
VQM浏览软件