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前装式双传感器

INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的*佳热稳定性。双传感器提供备用晶体，对于在真空室中需要**晶体的关键过程至关重要。

前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。

功能

• 双晶体
• 晶体闸
• 前装式晶体支架
• 易于安装
• 随附：2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件和 CF40 馈入件
• 在配有压缩接头时可调长度
• 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊
• 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合

  规格

  类型		Front Load Dual Sensor
  无水时的*高烘烤温度		130° C
  *小水流时的*高工作等温环境温度		400 ° C
  尺寸（无闸门的*大外壳）		1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
  水管和同轴长度，“E”传感器		Standard 30 in. (762 mm)
  晶体交换		Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
  安装		Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
  安装要求
  馈入件		Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.
  其他		1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1 2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller. 3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.
  实用工具		1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.) 2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]
  水质		Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
  材料
  主体和支架		304 Type stainless steel
  弹簧		Au plated Be-Cu
  水管		S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
  连接器 (Microdot)		Stainless steel, Teflon® and glass insulated
  绝缘体		>99% Al2O3
  电线		Teflon insulated copper
  其他机械部件		304 or 18-8 stainless steel
  铜焊		Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
  晶体		0.550 in. (13.97 mm) diameter
  1 in. 螺栓和 Ultra-Torr（压缩接头）端接的馈入件规格：
  材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
  温度		Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
  安装		1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
  CF 40 (2 3/4 in. ConFlat) 焊接式端接馈入件规格：
  材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
  温度		Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
  安装		Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

  附件

  名称	说明
  QCM 传感器馈入件	QCM 传感器馈入件

  Front Load Dual Sensor
  零件号	明细
  750-420-G1	电磁阀，24 伏（与带闸门和多晶体传感器配合使用）

耗材

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