- 如果您对该产品感兴趣的话,可以
- 产品名称:机械测试仪TriboLab CMP
- 产品型号:
- 产品展商:德国布鲁克BRUKER
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简单介绍
机械测试仪TriboLab CMP****小规模研发系统中的 ROI,此台式工具可再现全尺寸晶圆抛光工艺条件,而无需在生产设备上停机。
机械测试仪TriboLab CMP灵活参数控制,允许量身定制的测试,以加快材料开发,并**优化流程。
专家应用和支持,我们与大型安装基地合作多年,为您的实验室提供专业知识。
产品描述
机械测试仪TriboLab CMP利用其前身产品 (Bruker CP-4) 超过 20 年的 CMP 领域专业知识,为业界**的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。机械测试仪TriboLab CMP是市场上**能够提供广泛的抛光压力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具,可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。
用于 CMP 的小型研发规模专业系统
布鲁克的机械测试仪TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计,是具有可靠、灵活和高效的台式设备。
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重现全尺寸晶圆抛光工艺条件,无需在生产设备上停机
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提供****的测量可重复性和细节检测
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允许在小样品上进行测试,比全晶圆测试节省大量成本
机械测试仪TriboLab CMP板载诊断系统可以更好地了解抛光过程
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比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数
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从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据
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通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策
机械测试仪TriboLab CMP具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置
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抛光任何平面材料,几乎能使用任何修正盘,任何抛光液,和任何抛光垫
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轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆
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可同时安装多个样品,测试更灵活
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