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- 产品名称:显微分光厚膜仪
- 产品型号:OPTM
- 产品展商:Otsuka
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简单介绍
Otsuka 显微分光厚膜仪可以用于测量目标膜的**反射率,高精度测量膜厚和光学常数。广泛应用于医药、食品、化工、半导体、材料科学以及电子行业。
显微分光厚膜仪产品的主要特点:厚膜测量的主要功能集中在显微厚膜嵌入头;利用显微分光实现高精度**反射率测量,分析多层薄膜厚度和光学常数(n:折射率,k:消光系数);单点对焦测量时间小于1s;显微分光厚膜仪显微下具有较宽的测定波长范围(紫外~近红外);初学者也可以轻松的利用解析软件进行光学常数解析;搭载macro功能,可以自定义各种测量情况。
产品描述
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显微分光厚膜仪性能参数:
阶 段
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OPTM-A1
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OPTM-A1
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OPTM-A1
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波长范围
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230nm~800nm
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360nm~1100nm
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900nm~1600nm
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膜厚范围
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1nm~35μm
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7nm~49μm
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16nm~92μm
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测定时间
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1秒/点
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光径大小
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10μm(可小至约5μm)
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检 测 器
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CCD
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CCD
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InGaAs
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光 源
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氘灯+卤素灯
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氘灯+卤素灯
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卤素灯
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电源规格
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AC100V±10V 500VA (自动样品台规格)
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尺 寸
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556(W)×566(D)×618(H)(自动样品台主体规格)
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重 量
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约55kg(自动样品台主体规格)
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1.反射对物镜片实现透明基板的高精度测定
如果是透明基板,因里面的反射光而无法正确测出膜厚。通过反射対物镜片,可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可测出高精度的膜厚。特别是对带有光学非均质的基板效果很好。
2.显微分光厚膜仪在微小区域测定所瞄定的模式或部位
在软件上通过同时显示样品画面和测定光采取部位,可很好的确认到测定点。特别是对有微小点(直径≥3μm)的形状的样品。
3.显微分光厚膜仪在紫外区域实现极薄膜的测定
在光干涉法中,膜越薄反射率的变化就越小。在紫外区域,由于膜厚反射率的变化相比可视区域要大,如果厚度为1nm左右的极薄膜,在紫外区域的测定效果很好。
4.显微分光厚膜仪在近红外区域实现带色样品的测定
在可视区域,即使时吸收较强的彩色膜等带色的样品,在近红外区域几乎会变得很透明,所以在近红外区域的测定效果很好。
5.自动XY平台实现多点自动检测
OPTM标配XY自动平台,仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品, 实时获取厚度分布图。平台设有防误触光栏,避**测过程误触。平台尺寸200mm×200mm,可以检测12寸晶圆。
6.显微分光厚膜仪的操作便捷,检测时间短
QC模式—点击即检测;
R&D模式—非标准样品检测时间小于1s。
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