半导体材料电阻率测试仪
半导体材料电阻率测试仪参照标准：
硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
半导体材料电阻率测试仪适用范围：
适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表
用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品
半导体材料电阻率测试仪型号及参数
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规格型 |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
FT-334 |
FT-335 |
FT-336 |
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1.方块电阻范围 |
10-5～2×105Ω/□ |
10-4～2×105Ω/□ |
10-3～2×105Ω/□ |
10-3～2×104Ω/□ |
10-2～2×105Ω/□ |
10-2～2×104Ω/□ |
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2.电阻率范围 |
10-6～2×106Ω-cm |
10-5～2×106Ω-cm |
10-4～2×106Ω-cm |
10-4～2×105Ω-cm |
10-3～2×106Ω-cm |
10-3～2×105Ω-cm |
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测试电流范围
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0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
10μA，100µA，1mA，10mA， 100mA |
0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
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4.电流精度 |
±0.1% |
±0.2% |
±0.2% |
±0.3% |
±0.3% |
±0.3% |
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5.电阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.5% |
≤0.5% |
≤0.5% |
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6.显示读数 |
液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 |
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7.测试方式 |
半导体材料电阻率测试仪普通单电测量 |
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8.工作电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
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9.误差 |
≤4%（标准样片结果） |
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10.选购功能 |
选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻
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11.测试探头 |
探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针 |
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半导体材料电阻率测试仪
