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产品资料

Transpector 2残余气体分析仪

Transpector 2残余气体分析仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:Transpector 2残余气体分析仪
  • 产品型号:C100F,C100M,H100F,H100M,H200F,H200M,H300F,H300M
  • 产品展商:Inficon
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
inficon Transpector 2残余气体分析仪,超高灵敏度和性能优于的新一代残余气体分析仪,高灵敏性改善污染控制。
产品描述
Transpector 2残余气体分析仪Transpector® 气体分析系统是一种 RGA,可在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供**而可靠的数据。 与之相比,Transpector 2残余气体分析仪Transpector 2 提高了氢气灵敏度,使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余,低电平信号下的扫描速度快达四倍,动态扫描范围更为宽泛,可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。

Transpector 2残余气体分析仪功能

  • 100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
  • 提高氢气检测水平
  • 优异的峰值振幅和位置稳定性
  • 与原始 Transpector 相比,信噪比高达 10 倍
  • 低电平信号下扫描速度更快
  • 九个数量级的电子动态量程
  • 针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
  • 从 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范围内的分压力测量
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