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产品资料

微镜阵列

微镜阵列
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:微镜阵列
  • 产品型号:Micro Mirro Array
  • 产品展商:其它品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
此系列产品为微镜阵列,即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外(DUV to NIR, 193nm~1500nm)。镜面可由256×256个微镜面组成,每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生,可编程掩膜板等。
产品描述

此系列产品为微镜阵列,即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外(DUV to NIR, 193nm~1500nm)。镜面可由256×256个微镜面组成,每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生,可编程掩膜板等。

Example of micro mirror array for extended spectral range
„256 x 256 micro mirrors
„ 16 μm x 16 μm mirror pitch
„ Frame rate 1 kHz
„ Analogue mirror tilting
„ Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm

Applications
„Pattern projection (real time grey levels)
„ Programmable masks
„ Structured / programmable illumination
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